萬級集成電路無塵車間設計要求及費用報價清單

前言

中國大力支持半導體材料的發展趨勢，半導體器件的純化是半導體元件發展趨勢的主要基礎。由于集成電路工藝集成電路的規模和技術規定，為了獲得高純度的光伏材料，原材料和中間載體的高純度和生產工藝的潔凈度已成為危害產品質量的突出問題。自20世紀50年代以來，芯片可能經歷了三個發展趨勢：在美國創造發明和起源——加速日本的發展趨勢——在韓國和中國臺灣的完美分裂。前兩個半導體行業之所以遷移，是因為日本在PCDRAM銷售市場上得到了美國的認可；韓國已成為PCDRAM的新的關鍵運營商，中國臺灣已成為鑄造行業，芯片密封行業已成為OEM生產的領導者?，F在，中國已經成為世界上擁有大型半導體材料的銷售市場。在當前強勁的需求和強大的政策的推動下，芯片領域正在向內地轉移集成電路芯片的合格率與芯片的相對密度有關，芯片的相對密度與空氣中顆粒的數量有關。因此，集成電路的快速發展趨勢不僅對空氣中顆粒的規格和尺寸有較高的規定，而且需要對集成電路工作環境的工作環境進行進一步的操作。

工程介紹

10000級集成電路無塵車間是滿足半導體制造工藝要求的潔凈室。與其他工業清潔車間相比，對環境清潔度、溫度和濕度、振動、ESD和AMC控制的要求更為嚴格。一般來說，電子集成電路無塵車間的溫度應控制在22℃左右，相對濕度應控制在50-60%之間（特殊無塵車間有相關的溫濕度規定）。此時，靜電可以有效消除，人們可以感到舒適。芯片生產車間、集成電路無塵室、磁盤制造車間是電子制造業潔凈室的重要組成部分。由于電子產品的制造，在生產過程中對室內空氣環境和質量有著極其嚴格的要求，主要是控制顆粒和浮塵，并對其環境的溫度、濕度、新鮮空氣量和噪聲作出了嚴格的規定。今天，讓我們來談談集成電路無塵車間的規劃設計。

一  萬級集成電路無塵車間凈化參數要求

1.潔凈度：萬級
2.換氣次數：≥20次   
3.平均風速： 0.3—0.5米每秒
4.溫度：22℃左右
5.相對濕度：50-60%
6.噪聲級（空態）：不應大于65dB(A)
7.萬級集成電路無塵車間垂直流潔凈室滿布比不應小于60%，水平單向流潔凈室不應小于40%，否則就是局部單向流了
8.萬級集成電路潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa 
9.萬級集成電路無塵車間內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值
10.補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和
11.保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3

二.萬級集成電路無塵車間消防工程

1.萬級集成電路無塵車間應專門設計，主體建筑應為一、二級耐火等級；吊頂、隔墻等構件及保溫、保溫、裝飾材料應盡量采用不燃材料或防火材料。

2.其他建筑改造為萬級集成電路無塵車間的，也應當經公安消防部門專門設計和審核。一般不得破壞原防火分離、新保溫、保溫、分離等材料和裝飾材料，盡量不使用可燃材料，如需使用，應進行防火處理。

3.為防止火災和燃燒，便于疏散和搶救，防火墻之間的最大允許面積、防火分離和疏散路線一般應比其他建筑有更高的要求。出入口或拐角處應有緊急照明燈。

4.明火加熱不得用于電子光學無塵車間。電加熱必須關閉，加熱溫度必須嚴格控制。各種加熱裝置應安裝在不燃底座上。

5.萬級集成電路無塵車間有易燃易爆物品，電氣應符合防爆要求；電氣敷設和安裝應嚴格要求，暗敷電線不得有接頭。電氣設備應經常維護，使用后應及時切斷電源。對于需要長時間打開的電氣設備，應在下班后進行巡邏檢查。

6.萬級集成電路無塵車間易燃易爆物品僅限于值班用量。下班后，剩余易燃易爆物品應存放在其他安全場所。

7.使用易燃液體和氣體的萬級集成電路無塵車間應安裝排氣設備，操作臺應配備獨立的排氣裝置。易燃液體蒸汽和氣體的排氣管應與排氣系統分開。

8.萬級集成電路無塵車間的排氣系統。應設置調節閥、止回閥或封閉閥。防火閥必須設置在通過地板和風管穿過防火墻的總風管上。

9.萬級集成電路無塵車間應有相對完善的消防設施。消防報警裝置和自動滅火設施應設置在凈化車間和技術管道層。根據工藝生產的特點和要求、可燃材料的種類和數量、建筑的耐火等級等因素，配備必要的滅火設備。有價值、高精度儀器和電氣設備的潔凈室應配備二氧化碳、鹵代烷或噴水滅火裝置。走廊上還應設置緊急報警按鈕和電話號碼。

濕度控制是集成電路無塵車間的核心技術指標，與集成電路無塵車間的生產質量有關，與集成電路無塵車間的生活有關。目前，集成電路無塵車間在濕度控制中，更常用的是工業加濕器，以實現對濕度的智能控制。例如，高壓微霧加濕器。干霧加濕器將根據不同電子工廠的濕度要求，提供簡單有效的解決方案，實現快速加濕和靜電去除。同時，工業加濕器具有四個特點：一是智能控制，簡單方便。第二，霧化顆粒小，加濕快，蒸發快，不會弄濕設備。員工。第三，它配備了一個缺水和斷電的保護裝置。第四，可以是手動的。自動的。遠程操作，也可以通過時間。濕度。紅外線等控制。工業加濕器已經為全國許多電子工廠提供了良好的加濕和靜電去除服務，實現了對集成電路無塵車間濕度的有效控制。

安裝和使用無塵車間加濕器的注意事項：

1.輸水管道應選用耐高壓管道，禁止使用普通管道，不能承受高壓。

2.設備的安裝首先要確定型號、數量、安裝位置、管道方向。

3.安裝時要注意離車間頂部0.5米，離地面也要有2.5米左右，可以提高噴霧效果。

4.噴嘴周圍沒有阻擋噴霧的障礙物。

5.管道設備在安裝過程中，避免漏水，影響噴霧。

6.噴嘴安裝間隔一般為1米。

7.確定過濾裝置。軟水裝置安裝正確，使用正常。

四.萬級集成電路無塵車間費用報價清單

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